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Glosario Terminología Informática

MicroElectronic Mechanical Systems

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Micromáquinas, generalmente construidas sobre obleas de silicio, con tamaños micrométricos. Estos componentes se fabrican mediante procesos de fabricación que utilizan herramientas de diseño y análisis asistidos por computadora, generación de patrones litográficos y técnicas de micromecanizado como la deposición de películas delgadas y el grabado altamente selectivo. Las aplicaciones de los MEMS se encuentran en acelerómetros, osciladores, componentes microópticos y dispositivos microfluídicos y biomédicos. El interés se está desplazando ahora hacia los microsistemas complejos que combinan sensores, actuadores, computación y comunicación en un solo microdispositivo.
2003-05-20