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Glosario Terminología Informática

MicroElectronic Mechanical Systems

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Micromáquinas, generalmente construidas sobre obleas de silicio, con tamaños micrométricos. Estos componentes integran en una sola estructura sistemas mecánicos y semiconductores. Para su fabricación se requieren herramientas de diseño y análisis asistidos por computadora, generación de patrones litográficos y técnicas de micromecanizado como la deposición de películas delgadas y el grabado altamente selectivo.
Las aplicaciones de los MEMS se encuentran en acelerómetros,giroscopios, osciladores, componentes microópticos y dispositivos microfluídicos y biomédicos. El interés se está desplazando ahora hacia los microsistemas complejos que combinan sensores, actuadores, computación y comunicación en un solo microdispositivo.
2003-05-20